半导体制造设备中的水质控制
电阻率(特定电阻)测量模块:7741-A100(洗涤水的水质控制,例如凹痕,背包,光掩膜等)电阻
率仪(特定电阻仪):7721 - A100N / 7731 -A121药物注射装置等)
挑战和实施的背景
- 半导体嵌入了各种产品中,包括普通家庭中使用的PC ,智能手机和电视,以及在子弹列车和火车,互联网,金融网络和医疗基础设施等物流系统中使用的电子设备,对于跑步社会至关重要。
- 半导体制造是通过许多过程进行的,但是在此过程中使用了各种化学物质,用于清洁它们的“水(超纯水)”对产品的质量具有重要影响,因此需要高精确的水质控制设备。
- 半导体设备使用大量的传感器设备,并通过PLC和触摸面板收集,显示和输出各种数据,因此不需要显示或警报输出功能,并且需要尽可能紧凑,需要高级测量设备。
采用和主要模型的要点
- 在半导体制造设备行业中,电阻率(电阻)测量模块主要用作水质控制设备,例如DICING设备和抗固定设备,并且每年已采用超过500个单位。
- 通过进行适当的水质控制,我们有助于确保产品质量和提高利用率,例如防止清洁不足以及对所用水量的适当管理造成的问题。
- 模块型水质计没有显示功能或警报输出功能,但是其功能仅限于极限,只有测量输出(4-20mA输出),即使其精确度很高,并且可以通过省略显示功能以储蓄方式安装它,并且可以以较低的成本安装它。
- 还有一些模型可以切换测量范围,并且还用于测量超纯水以外的水质。
- 除了模块型水质仪表外,许多电导率仪表(电导率仪)7721/7731系列,它们是具有显示功能的高级测量模型,以及7722/7732系列,用于腐蚀预防药物注射式注射腐蚀药物的电导率计(电导率计(电导率计)) 。